Ultra-high purity (UHP) ဓာတ်ငွေ့များသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ငန်း၏ အသက်သွေးကြောဖြစ်သည်။ ကမ္ဘာလုံးဆိုင်ရာ ထောက်ပံ့ရေးကွင်းဆက်များ၏ မကြုံစဖူးသော ဝယ်လိုအားနှင့် အနှောင့်အယှက်များသည် အလွန်မြင့်မားသောဖိအားဓာတ်ငွေ့၏စျေးနှုန်းကို တွန်းအားပေးလာသည်နှင့်အမျှ၊ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ဒီဇိုင်းအသစ်နှင့် ထုတ်လုပ်မှုကျင့်ထုံးများသည် လိုအပ်သော ညစ်ညမ်းမှုထိန်းချုပ်မှုအဆင့်ကို တိုးမြင့်လာစေသည်။ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်သူများအတွက် UHP ဓာတ်ငွေ့ သန့်စင်မှုကို ယခင်ကထက် ပိုအရေးကြီးကြောင်း သေချာအောင် လုပ်ဆောင်နိုင်ခြင်းဖြစ်သည်။

ခေတ်မီဆီမီကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်ရေးတွင် အလွန်အရေးကြီးသော ဓာတ်ငွေ့များ (UHP) ဓာတ်ငွေ့များသည် လုံးဝအရေးကြီးပါသည်။

UHP ဓာတ်ငွေ့၏ အဓိက အသုံးချမှုတစ်ခုမှာ အားပျော့ခြင်းဖြစ်သည်- UHP ဓာတ်ငွေ့ကို ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ အစိတ်အပိုင်းများ တစ်ဝိုက်ရှိ လေထုကို အကာအကွယ်ပေးရန်အတွက် အသုံးပြုကာ လေထုအတွင်းရှိ အစိုဓာတ်၊ အောက်ဆီဂျင်နှင့် အခြားညစ်ညမ်းမှုများ၏ အန္တရာယ်မှ ကာကွယ်ပေးသည်။ သို့ရာတွင်၊ inertization သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းတွင် ဓာတ်ငွေ့များလုပ်ဆောင်သည့် မတူညီသောလုပ်ဆောင်ချက်များစွာထဲမှတစ်ခုသာဖြစ်သည်။ ပလာစမာဓာတ်ငွေ့မှသည် etching နှင့် annealing တွင်အသုံးပြုသော ဓာတ်ပြုဓာတ်ငွေ့များအထိ၊ အလွန်မြင့်မားသောဖိအားဓာတ်ငွေ့များကို မတူညီသောရည်ရွယ်ချက်များစွာအတွက် အသုံးပြုကြပြီး semiconductor ထောက်ပံ့ရေးကွင်းဆက်တစ်လျှောက်တွင် မရှိမဖြစ်လိုအပ်ပါသည်။

ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းရှိ “အဓိက” ဓာတ်ငွေ့အချို့ ပါဝင်သည်။နိုက်ထရိုဂျင်(ယေဘူယျ သန့်ရှင်းရေး နှင့် inert gas အဖြစ်သုံးသည်)၊အာဂွန်( etching နှင့် deposition တုံ့ပြန်မှုများတွင် ပင်မပလာစမာဓာတ်ငွေ့အဖြစ် အသုံးပြုသည် )ဟီလီယမ်(အထူးအပူလွှဲပြောင်းဂုဏ်သတ္တိရှိသော inert gas အဖြစ်အသုံးပြုသည်) နှင့်ဟိုက်ဒရိုဂျင်(အန်ထုတ်ခြင်း၊ စုဆောင်းခြင်း၊ epitaxy နှင့် ပလာစမာ သန့်ရှင်းရေးတွင် အခန်းကဏ္ဍများစွာပါဝင်သည်)။

ဆီမီးကွန်ဒတ်တာနည်းပညာသည် ဆင့်ကဲပြောင်းလဲလာသည်နှင့်အမျှ ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်တွင် အသုံးပြုသည့်ဓာတ်ငွေ့များကို ထားရှိပါ။ ယနေ့ခေတ်တွင် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်သည့်စက်ရုံများသည် မြင့်မြတ်သောဓာတ်ငွေ့များဖြစ်သည့် ကျယ်ပြန့်သောဓာတ်ငွေ့များကို အသုံးပြုကြသည်။kryptonနှင့်နီယွန်နိုက်ထရိုဂျင်ထရိုဖလိုရိုက် (NF 3) နှင့် tungsten hexafluoride (WF 6) ကဲ့သို့သော ဓာတ်ပြုမျိုးစိတ်များသို့။

သန့်ရှင်းမှုအတွက် လိုအပ်ချက် ကြီးထွားလာသည်။

ပထမဆုံး လုပ်ငန်းသုံး မိုက်ခရိုချစ်ပ်ကို တီထွင်ခဲ့ချိန်မှစ၍၊ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ကိရိယာများ၏ စွမ်းဆောင်ရည်မှာ တစ်ကမ္ဘာလုံး အံ့အားသင့်ဖွယ် ကိန်းဂဏန်းနီးပါး တိုးမြင့်လာသည်ကို တွေ့မြင်ခဲ့ရသည်။ လွန်ခဲ့သည့်ငါးနှစ်အတွင်းတွင်၊ ဤကဲ့သို့သောစွမ်းဆောင်ရည်တိုးတက်မှုကိုရရှိရန် အသေချာဆုံးနည်းလမ်းတစ်ခုမှာ "အရွယ်အစားကို ချဲ့ထွင်ခြင်း" အားဖြင့်ဖြစ်သည်- ပေးထားသောနေရာတစ်ခုထဲသို့ ထရန်စစ္စတာများကို ပိုမိုညှစ်ထုတ်ရန်အတွက် ရှိပြီးသားချစ်ပ်ဗိသုကာများ၏ အဓိကကျသောအတိုင်းအတာများကို လျှော့ချခြင်းဖြစ်ပါသည်။ ၎င်းအပြင်၊ ချစ်ပ်ဗိသုကာအသစ်များ ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုနှင့် နောက်ဆုံးပေါ်ပစ္စည်းများအသုံးပြုမှုတို့သည် စက်ပစ္စည်းစွမ်းဆောင်ရည်ကို အရှိန်အဟုန်ဖြင့် ဖြစ်ပေါ်စေခဲ့သည်။

ယနေ့ခေတ်တွင်၊ နောက်ဆုံးပေါ် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးကိရိယာများ၏ အရေးပါသောအတိုင်းအတာများသည် ယခုအခါ အလွန်သေးငယ်သောကြောင့် အရွယ်အစားကို ချိန်ညှိခြင်းသည် စက်စွမ်းဆောင်ရည်ကို မြှင့်တင်ရန် မဖြစ်နိုင်တော့ပါ။ ယင်းအစား၊ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း သုတေသီများသည် ဆန်းသစ်သောပစ္စည်းများနှင့် 3D ချစ်ပ်ဗိသုကာများပုံစံဖြင့် ဖြေရှင်းချက်များကို ရှာဖွေနေကြသည်။

ဆယ်စုနှစ်များစွာ မပျင်းမရိ ပြန်လည်ဒီဇိုင်းထုတ်ခြင်း၏ ဆိုလိုရင်းမှာ ယနေ့ခေတ် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကိရိယာများသည် ယခင်ခေတ်က မိုက်ခရိုချစ်ပ်များထက် အဆပေါင်းများစွာ ပိုမိုအားကောင်းသည် — သို့သော် ၎င်းတို့သည်လည်း ပိုမိုပျက်စီးလွယ်ပါသည်။ 300mm wafer fabrication နည်းပညာ ထွန်းကားလာခြင်းကြောင့် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်ခြင်းအတွက် လိုအပ်သော အညစ်အကြေး ထိန်းချုပ်မှု အဆင့်ကို တိုးမြင့်လာခဲ့သည်။ ထုတ်လုပ်မှု လုပ်ငန်းစဉ်တွင် အနည်းငယ်ညစ်ညမ်းမှု (အထူးသဖြင့် ရှားပါးသော သို့မဟုတ် မသန်စွမ်းသော ဓာတ်ငွေ့များ) သည်ပင် စက်ပစ္စည်းကိရိယာများ ချို့ယွင်းမှုကို ဖြစ်ပေါ်စေနိုင်သည် - ထို့ကြောင့် ဓာတ်ငွေ့သန့်စင်မှုသည် ယခင်ကထက် ပိုမိုအရေးကြီးပါသည်။

သာမာန်တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်သည့်စက်ရုံအတွက်၊ အလွန်မြင့်မားသောသန့်စင်မှုဓာတ်ငွေ့သည် ဆီလီကွန်ကိုယ်တိုင်ပြီးနောက် အကြီးမားဆုံးပစ္စည်းကုန်ကျစရိတ်ဖြစ်နေပါပြီ။ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ၀ယ်လိုအား အမြင့်အသစ်သို့ တိုးမြင့်လာသည်နှင့်အမျှ ဤကုန်ကျစရိတ်များ တိုးလာမည်ဟု မျှော်လင့်ရသည်။ ဥရောပရှိ အဖြစ်အပျက်များသည် တင်းမာသော အလွန်မြင့်မားသော ဖိအားများသော သဘာဝဓာတ်ငွေ့ဈေးကွက်ကို နောက်ထပ် အနှောင့်အယှက် ဖြစ်စေသည်။ ယူကရိန်းသည် ကမ္ဘာ့အကြီးဆုံး သန့်စင်မှု တင်ပို့ရောင်းချသူများထဲမှ တစ်ခုဖြစ်သည်။နီယွန်လက္ခဏာများ; ရုရှား၏ကျူးကျော်မှုသည် ရှားပါးဓာတ်ငွေ့ထောက်ပံ့မှုကို ကန့်သတ်ခံနေရသည်ဟု ဆိုလိုသည်။ ယင်းကြောင့် အခြားသော မွန်မြတ်သော ဓာတ်ငွေ့များ ရှားပါးမှုနှင့် ဈေးနှုန်းများ မြင့်မားလာစေသည်။kryptonနှင့်ဇီနွန်.