အထူးဓာတ်ငွေ့များ
-
ဆာလဖာတက်ထရာဖလိုရိုက် (SF4)
EINECS NO: 232-013-4
CAS နံပါတ်: 7783-60-0 -
နိုက်ထရပ်အောက်ဆိုဒ် (N2O)
နိုက်ထရပ်အောက်ဆိုဒ်သည် ရယ်မောသောဓာတ်ငွေ့ဟုလည်း လူသိများသော ဓာတုဖော်မြူလာ N2O ပါသည့် အန္တရာယ်ရှိသော ဓာတုပစ္စည်းဖြစ်သည်။၎င်းသည် အရောင်မရှိသော၊ မွှေးကြိုင်သောဓာတ်ငွေ့ဖြစ်သည်။N2O သည် အချို့သောအခြေအနေများတွင် လောင်ကျွမ်းခြင်းကို ပံ့ပိုးပေးနိုင်သော ဓာတ်တိုးဆန့်ကျင်ပစ္စည်းဖြစ်ပြီး အခန်းအပူချိန်တွင် တည်ငြိမ်ပြီး ထုံဆေးအာနိသင် အနည်းငယ်ရှိသည်။လူတွေကို ရယ်မောစေနိုင်ပါတယ်။ -
ကာဗွန်တက်ထရာဖလိုရိုက် (CF4)
tetrafluoromethane ဟုလည်းလူသိများသော ကာဗွန်တက်ထရာဖလိုရိုက်သည် ပုံမှန်အပူချိန်နှင့် ဖိအားတွင် အရောင်မဲ့ဓာတ်ငွေ့ဖြစ်ပြီး ရေတွင်မပျော်ဝင်ပါ။CF4 ဓာတ်ငွေ့သည် မိုက်ခရိုအီလက်ထရွန်းနစ်စက်မှုလုပ်ငန်းတွင် လက်ရှိတွင် အသုံးအများဆုံး ပလာစမာ etching ဓာတ်ငွေ့ဖြစ်သည်။၎င်းကို လေဆာဓာတ်ငွေ့၊ အအေးခန်း အအေးခန်း၊ ဓာတုပစ္စည်း၊ ချောဆီ၊ လျှပ်ကာပစ္စည်းနှင့် အနီအောက်ရောင်ခြည် ထောက်လှမ်းသည့် ပြွန်များအတွက် အအေးခံပစ္စည်းအဖြစ်လည်း အသုံးပြုသည်။ -
Sulfuryl Fluoride (F2O2S)
Sulfuryl ဖလိုရိုက် SO2F2၊ အဆိပ်ရှိသောဓာတ်ငွေ့ကို ပိုးသတ်ဆေးအဖြစ် အဓိကအသုံးပြုသည်။sulfuryl ဖလိုရိုက်သည် ပြင်းထန်သောပျံ့နှံ့မှုနှင့် စိမ့်ဝင်နိုင်စွမ်းရှိသောလက္ခဏာများ ၊ ကျယ်ပြန့်သောရောင်စဉ်ပိုးသတ်ဆေး ၊ သောက်သုံးမှုနည်းသော ၊ ကျန်ရှိသည့်ပမာဏ ၊ ပိုးသတ်ဆေးများ လျင်မြန်စွာ ၊ ဓါတ်ငွေ့ပျံ့ပွားမှုအချိန်တို ၊ အပူချိန်နိမ့်သောနေရာတွင် အဆင်ပြေစွာအသုံးပြုနိုင်ခြင်း၊ ကြီးထွားနှုန်းနှင့် အဆိပ်သင့်မှု နည်းပါးခြင်း ၊ သိုလှောင်ရုံများ၊ ကုန်တင်သင်္ဘောများ၊ အဆောက်အဦများ၊ ရေလှောင်တမံများ၊ ပိုးမွှားကာကွယ်ရေးစသည်ဖြင့် သိုလှောင်ရုံများတွင် ပိုမိုတွင်ကျယ်စွာ အသုံးပြုကြသည်။ -
Silane (SiH4)
Silane SiH4 သည် ပုံမှန်အပူချိန်နှင့် ဖိအားတွင် အရောင်မဲ့၊ အဆိပ်သင့်ပြီး အလွန်တက်ကြွသော ဓာတ်ငွေ့ဖြစ်သည်။Silane ကို ဆီလီကွန်၏ epitaxial ကြီးထွားမှု၊ ပိုလီဆီလီကွန်၊ ဆီလီကွန်အောက်ဆိုဒ်၊ ဆီလီကွန်နိုက်ထရိတ်၊ စသည်တို့အတွက် ကုန်ကြမ်း၊ ဆိုလာဆဲလ်များ၊ အလင်းမျှင်များ၊ ရောင်စုံဖန်များ ထုတ်လုပ်ခြင်းနှင့် ဓာတုအငွေ့များ စုပုံခြင်းအတွက် တွင်ကျယ်စွာ အသုံးပြုကြသည်။ -
Octafluorocyclobutane (C4F8)
Octafluorocyclobutane C4F8၊ ဓာတ်ငွေ့ သန့်စင်မှု- 99.999% သည် အစားအစာ အက်ပလီကေးရှင်းနှင့် အလတ်စားဓာတ်ငွေ့အဖြစ် အသုံးပြုလေ့ရှိသည်။ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ PECVD (Plasma Enhance. Chemical Vapor Deposion) လုပ်ငန်းစဉ်တွင် C4F8 ကို CF4 သို့မဟုတ် C2F6 ၏ အစားထိုးအဖြစ် အသုံးပြုပြီး၊ သန့်စင်ရေးဓာတ်ငွေ့နှင့် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်ယူသည့်ဓာတ်ငွေ့အဖြစ် အသုံးပြုသည်။ -
နိုက်ထရစ်အောက်ဆိုဒ် (NO)
နိုက်ထရစ်အောက်ဆိုဒ်ဓာတ်ငွေ့သည် ဓာတုဖော်မြူလာ NO ပါရှိသော နိုက်ထရိုဂျင်ဒြပ်ပေါင်းဖြစ်သည်။၎င်းသည် ရေတွင်မပျော်ဝင်နိုင်သော အရောင်မဲ့၊ အနံ့မရှိသော အဆိပ်ဓာတ်ငွေ့ဖြစ်သည်။နိုက်ထရစ်အောက်ဆိုဒ်သည် ဓာတုဗေဒအရ အလွန်ဓာတ်ပြုပြီး အောက်ဆီဂျင်နှင့် ဓာတ်ပြုပြီး အဆိပ်ဓာတ်ငွေ့များဖြစ်သော နိုက်ထရိုဂျင်ဒိုင်အောက်ဆိုဒ် (NO₂) ကို ဖွဲ့စည်းသည်။ -
ဟိုက်ဒရိုဂျင်ကလိုရိုက် (HCl)
ဟိုက်ဒရိုဂျင်ကလိုရိုက် HCL Gas သည် အရောင်ကင်းသော ဓာတ်ငွေ့ဖြစ်ပြီး ညှော်နံ့ရှိသော ဓာတ်ငွေ့ဖြစ်သည်။၎င်း၏ ရေပျော်ရည်ကို ဟိုက်ဒရိုကလိုရစ်အက်ဆစ်ဟုလည်း ခေါ်ကြပြီး၊ဟိုက်ဒရိုဂျင်ကလိုရိုက်ကို ဆိုးဆေးများ၊ ဟင်းခတ်အမွှေးအကြိုင်များ၊ ဆေးဝါးများ၊ အမျိုးမျိုးသော ကလိုရိုက်များနှင့် သံချေးတက်ခြင်းအတွက် အဓိကအသုံးပြုသည်။ -
Hexafluoropropylene (C3F6)
Hexafluoropropylene၊ ဓာတုဖော်မြူလာ- C3F6၊ သည် ပုံမှန်အပူချိန်နှင့် ဖိအားတွင် အရောင်မဲ့ဓာတ်ငွေ့ဖြစ်သည်။ဖလိုရင်းပါရှိသော ကောင်းမွန်သော ဓာတုဗေဒပစ္စည်းများ၊ ဆေးဝါးကြားခံများ၊ မီးသတ်ဆေးရည်များ စသည်တို့ကို ပြင်ဆင်ရာတွင် အဓိကအားဖြင့် ဖလိုရင်းပါရှိသော ပိုလီမာပစ္စည်းများကို ပြင်ဆင်ရာတွင်လည်း အသုံးပြုနိုင်သည်။ -
အမိုးနီးယား (NH3)
Liquid ammonia / anhydrous ammonia သည် အသုံးချမှု ကျယ်ပြန့်စွာဖြင့် အရေးကြီးသော ဓာတုကုန်ကြမ်းဖြစ်သည်။အမိုးနီးယားအရည်ကို အအေးခန်းအဖြစ် သုံးနိုင်သည်။နိုက်ထရစ်အက်ဆစ်၊ ယူရီးယားနှင့် အခြားဓာတုဓာတ်မြေသြဇာများကို ထုတ်လုပ်ရန် အဓိကအသုံးပြုကြပြီး ဆေးဝါးနှင့် ပိုးသတ်ဆေးအတွက် ကုန်ကြမ်းအဖြစ်လည်း အသုံးပြုနိုင်သည်။ကာကွယ်ရေးစက်မှုလုပ်ငန်းတွင် ဒုံးပျံများနှင့် ဒုံးခွင်းဒုံးများအတွက် တွန်းအားများပြုလုပ်ရန် အသုံးပြုသည်။
