အတော်လေးအဆင့်မြင့်တဲ့ ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်တွေနဲ့ semiconductor wafer စက်ရုံတွေရဲ့ ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်မှာ ဓာတ်ငွေ့အမျိုးအစား 50 နီးပါး လိုအပ်နေပါတယ်။ ဓာတ်ငွေ့များကို အများအားဖြင့် အစုလိုက်ဓာတ်ငွေ့များအဖြစ် ခွဲခြားထားသည်။အထူးဓာတ်ငွေ့များ.

မိုက်ခရိုအီလက်ထရွန်းနစ်နှင့် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ငန်းများတွင် ဓာတ်ငွေ့အသုံးပြုခြင်း ဓာတ်ငွေ့အသုံးပြုမှုသည် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အမြဲတမ်းအရေးပါသော အခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်ခဲ့ပြီး အထူးသဖြင့် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်များကို လုပ်ငန်းအမျိုးမျိုးတွင် တွင်ကျယ်စွာအသုံးပြုကြသည်။ ULSI၊ TFT-LCD မှ လက်ရှိ micro-electromechanical (MEMS) စက်မှုလုပ်ငန်းအထိ၊ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း လုပ်ငန်းစဉ်များကို ခြောက်သွေ့ etching၊ oxidation၊ ion implantation၊ thin film deposition စသည်ဖြင့် ထုတ်ကုန်ထုတ်လုပ်မှု လုပ်ငန်းစဉ်များအဖြစ် အသုံးပြုပါသည်။

ဥပမာအားဖြင့်၊ ချစ်ပ်ပြားများကို သဲဖြင့်ပြုလုပ်ထားသည်ကို လူအများသိကြသော်လည်း ချစ်ပ်ထုတ်လုပ်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်တစ်ခုလုံးကိုကြည့်လျှင် photoresist၊ polishing liquid၊ ပစ်မှတ်ပစ္စည်း၊ အထူးဓာတ်ငွေ့စသည်ဖြင့် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သောပစ္စည်းများမှာ ပိုမိုလိုအပ်ပါသည်။ နောက်ကျောထုပ်ပိုးမှုတွင် ပစ္စည်းအမျိုးမျိုး၏ အလွှာများ၊ interposers၊ ခဲဘောင်များ၊ အီလက်ထရွန်းနစ် အထူးဓာတ်ငွေ့များသည် ဆီလီကွန် wafers များပြီးနောက် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်မှုကုန်ကျစရိတ်တွင် ဒုတိယအကြီးဆုံးပစ္စည်းဖြစ်ပြီး၊ ၎င်းနောက်တွင် မျက်နှာဖုံးများနှင့် photoresists များဖြစ်သည်။

ဓာတ်ငွေ့၏ သန့်ရှင်းစင်ကြယ်မှုသည် အစိတ်အပိုင်းများ၏ စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် ထုတ်ကုန်အထွက်နှုန်းအပေါ် အဆုံးအဖြတ်လွှမ်းမိုးမှုရှိပြီး ဓာတ်ငွေ့ထောက်ပံ့မှုဘေးကင်းမှုသည် ဝန်ထမ်းများ၏ ကျန်းမာရေးနှင့် စက်ရုံလည်ပတ်မှုဘေးကင်းရေးတို့နှင့် သက်ဆိုင်ပါသည်။ သဘာဝဓာတ်ငွေ့၏ သန့်စင်မှုသည် လုပ်ငန်းစဉ်လိုင်းနှင့် ဝန်ထမ်းများအပေါ် အဘယ်ကြောင့် ဤမျှကြီးမားသော သက်ရောက်မှုရှိသနည်း။ ၎င်းသည် ချဲ့ကားခြင်းမဟုတ်သော်လည်း ဓာတ်ငွေ့ကိုယ်တိုင်၏ အန္တရာယ်ရှိသောလက္ခဏာများဖြင့် ဆုံးဖြတ်သည်။

ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းတွင် ဘုံဓာတ်ငွေ့များကို အမျိုးအစားခွဲခြားခြင်း။

သာမန်ဓာတ်ငွေ့

သာမန်ဓာတ်ငွေ့ကို အစုလိုက်ဓာတ်ငွေ့ဟုလည်း ခေါ်သည်- ၎င်းသည် 5N ထက်နည်းသော သန့်စင်မှုလိုအပ်ချက်နှင့် ကြီးမားသော ထုတ်လုပ်မှုနှင့် ရောင်းချမှုပမာဏရှိသော စက်မှုဓာတ်ငွေ့ကို ရည်ညွှန်းသည်။ ကွဲပြားသောပြင်ဆင်မှုနည်းလမ်းများအလိုက် လေကိုခွဲထုတ်သည့်ဓာတ်ငွေ့နှင့် ဓာတုဓာတ်ငွေ့ဟူ၍ ခွဲခြားနိုင်သည်။ ဟိုက်ဒရိုဂျင် (H2), နိုက်ထရိုဂျင် (N2), အောက်ဆီဂျင် (O2), အာဂွန် (A2), စသည်တို့;

အထူးပြုဓာတ်ငွေ့

အထူးပြုဓာတ်ငွေ့ ဆိုသည်မှာ သီးခြားနယ်ပယ်များတွင် အသုံးပြုသည့် စက်မှုဓာတ်ငွေ့ကို ရည်ညွှန်းပြီး သန့်ရှင်းမှု၊ အမျိုးမျိုးနှင့် ဂုဏ်သတ္တိများအတွက် အထူးလိုအပ်ချက်များရှိသည်။ အဓိကအားဖြင့်SiH4PH3၊ B2H6၊ A8H3၊HCLCF4၊NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3၊NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR၊SF6… နောက် ... ပြီးတော့။

Spicial gases အမျိုးအစားများ

အထူးဓာတ်ငွေ့အမျိုးအစားများ- အဆိပ်သင့်ခြင်း၊ အဆိပ်သင့်ခြင်း၊ မီးလောင်လွယ်ခြင်း၊ လောင်ကျွမ်းခြင်းကို ပံ့ပိုးပေးခြင်း၊ အင်မတန် စသည်တို့ဖြစ်သည်။
အသုံးများသော ဆီမီးကွန်ဒတ်တာဓာတ်ငွေ့များကို အောက်ပါအတိုင်း ခွဲခြားထားသည်။
(၁) အဆိပ်သင့်/အဆိပ်HClBF3၊ WF6၊ HBr၊ SiH2Cl2၊ NH3၊ PH3၊ Cl2၊BCl3…
(ii) မီးလောင်လွယ်သော H2၊CH4၊SiH4PH3၊ AsH3၊ SiH2Cl2၊ B2H6၊ CH2F2၊ CH3F၊ CO...
(iii) လောင်ကျွမ်းနိုင်သော O2၊ Cl2၊ N2O၊ NF3...
(iv) Inert: N2၊CF4C2F6၊C4F8၊SF6CO2 ၊Ne၊Kr၊သူ…

ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ချစ်ပ်များ ထုတ်လုပ်ခြင်း လုပ်ငန်းစဉ်တွင် အထူးဓာတ်ငွေ့ အမျိုးအစား 50 ခန့် (အထူးဓာတ်ငွေ့များဟု ခေါ်ဆိုသည်) ကို ဓာတ်တိုးခြင်း၊ ပျံ့နှံ့ခြင်း၊ ထုတ်ယူခြင်း၊ etching၊ ဆေးထိုးခြင်း၊ photolithography နှင့် အခြားသော လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အသုံးပြုကြပြီး စုစုပေါင်း လုပ်ငန်းစဉ်အဆင့် ရာဂဏန်းကျော်ပါသည်။ ဥပမာအားဖြင့်၊ PH3 နှင့် AsH3 ကို အိုင်းယွန်းစိုက်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်တွင် phosphorus နှင့် arsenic ရင်းမြစ်များအဖြစ် အသုံးပြုကြပြီး F-based gases CF4, CHF3, SF6 နှင့် halogen gases CI2, BCI3, HBr ကို etching လုပ်ငန်းစဉ်တွင် အများအားဖြင့်အသုံးပြုကြသည်၊ SiH4, NH3, N2O တွင်၊ ဓါတ်ပုံလွှာရိုက်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်တွင် F2/Kr/Ne၊ Kr/Ne၊

အထက်ဖော်ပြပါအချက်များမှ၊ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာဓာတ်ငွေ့များစွာသည် လူ့ခန္ဓာကိုယ်အတွက် အန္တရာယ်ရှိကြောင်း ကျွန်ုပ်တို့နားလည်နိုင်ပါသည်။ အထူးသဖြင့် SiH4 ကဲ့သို့သော ဓာတ်ငွေ့အချို့သည် သူ့ဘာသာသူ လောင်ကျွမ်းနေပါသည်။ ယိုစိမ့်နေသမျှကာလပတ်လုံး ၎င်းတို့သည် လေထဲတွင် အောက်ဆီဂျင်နှင့် ပြင်းထန်စွာ တုံ့ပြန်ပြီး လောင်ကျွမ်းသွားမည်ဖြစ်သည်။ AsH3 သည် အလွန်အဆိပ်သင့်သည်။ ယိုစိမ့်မှုအနည်းငယ်သည် လူတို့၏အသက်အိုးအိမ်စည်းစိမ်ကို အန္တရာယ်ဖြစ်စေနိုင်သောကြောင့် အထူးဓာတ်ငွေ့အသုံးပြုမှုအတွက် ထိန်းချုပ်မှုစနစ်ဒီဇိုင်း၏ ဘေးကင်းမှုအတွက် လိုအပ်ချက်များမှာ အထူးမြင့်မားပါသည်။

တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းသည် “၃ ဒီဂရီ” ရှိရန် သန့်စင်မြင့်ဓာတ်ငွေ့များ လိုအပ်သည်

ဓာတ်ငွေ့သန့်စင်မှု

ဓာတ်ငွေ့အတွင်းရှိ ညစ်ညမ်းသောလေထု၏ အကြောင်းအရာကို အများအားဖြင့် 99.9999% ကဲ့သို့သော ဓာတ်ငွေ့သန့်စင်မှု ရာခိုင်နှုန်းအဖြစ် ဖော်ပြသည်။ ယေဘုယျအားဖြင့်ပြောရလျှင်၊ အီလက်ထရွန်းနစ်အထူးဓာတ်ငွေ့များအတွက် သန့်စင်မှုလိုအပ်ချက်သည် 5N-6N သို့ရောက်ရှိပြီး လေထုညစ်ညမ်းမှုပမာဏ ppm (တစ်သန်းတစ်စိတ်)၊ ppb (တစ်ဘီလီယံတစ်စိတ်တစ်ပိုင်း) နှင့် ppt (တစ်ထရီလျံတစ်စိတ်တစ်ပိုင်း) တို့ဖြင့် ဖော်ပြသည်။ အီလက်ထရွန်းနစ်တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးစက်နယ်ပယ်တွင် အထူးဓာတ်ငွေ့များ၏ သန့်ရှင်းမှုနှင့် အရည်အသွေးတည်ငြိမ်မှုအတွက် အမြင့်ဆုံးလိုအပ်ချက်များရှိပြီး အီလက်ထရွန်းနစ်အထူးဓာတ်ငွေ့များ၏ သန့်စင်မှုသည် ယေဘုယျအားဖြင့် 6N ထက် ကြီးသည်။

ခြောက်သွေ့ခြင်း။

ဓာတ်ငွေ့တွင်းရှိ သဲလွန်စရေ သို့မဟုတ် စိုစွတ်မှု ပမာဏကို နှင်းရည်အမှတ် -70 ℃ ကဲ့သို့သော လေထုထဲတွင် နှင်းရည်အမှတ်အဖြစ် ဖော်ပြသည်။

သန့်ရှင်းမှု

ဓာတ်ငွေ့အတွင်းရှိ ညစ်ညမ်းသော အမှုန်အရေအတွက်၊ အမှုန်အရွယ်အစား µm ရှိသော အမှုန်များကို အမှုန်မည်မျှ/M3 ဖြင့် ဖော်ပြသည်။ ဖိသိပ်ထားသောလေအတွက်၊ ဆီပါဝင်မှု ပါဝင်သော မလွှဲသာမရှောင်သာ အကြွင်းအကျန်များကို mg/m3 ဖြင့် ဖော်ပြသည်။