ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်များ နှိုင်းယှဉ်အဆင့်မြင့်သော semiconductor wafer foundry များ၏ ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်တွင် မတူညီသောဓာတ်ငွေ့အမျိုးအစား ၅၀ နီးပါး လိုအပ်ပါသည်။ ဓာတ်ငွေ့များကို ယေဘုယျအားဖြင့် အစုလိုက်ဓာတ်ငွေ့များနှင့်အထူးဓာတ်ငွေ့များ.

မိုက်ခရိုအီလက်ထရွန်းနစ်နှင့် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းလုပ်ငန်းများတွင် ဓာတ်ငွေ့များအသုံးချခြင်း ဓာတ်ငွေ့များအသုံးပြုမှုသည် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းလုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အမြဲတမ်းအရေးကြီးသောအခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်ခဲ့ပြီး၊ အထူးသဖြင့် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းလုပ်ငန်းစဉ်များကို စက်မှုလုပ်ငန်းအမျိုးမျိုးတွင် ကျယ်ကျယ်ပြန့်ပြန့်အသုံးပြုကြသည်။ ULSI၊ TFT-LCD မှ လက်ရှိ မိုက်ခရို-လျှပ်စစ်စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ (MEMS) လုပ်ငန်းအထိ၊ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းလုပ်ငန်းစဉ်များကို ထုတ်ကုန်ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်များအဖြစ် အသုံးပြုကြပြီး ခြောက်သွေ့စွာ ထွင်းထုခြင်း၊ အောက်ဆီဒေးရှင်း၊ အိုင်းယွန်းထည့်သွင်းခြင်း၊ ပါးလွှာသောဖလင်စုပုံခြင်း စသည်တို့ပါဝင်သည်။

ဥပမာအားဖြင့်၊ ချစ်ပ်များကို သဲဖြင့်ပြုလုပ်ထားကြောင်း လူအတော်များများသိကြသော်လည်း ချစ်ပ်ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်တစ်ခုလုံးကိုကြည့်လျှင် photoresist၊ ඔප දැමීමීම၊ ඔප දැමීම၊ target material၊ special gas စသည်တို့ကဲ့သို့သော ပစ္စည်းများသည် မရှိမဖြစ်လိုအပ်ပါသည်။ back-end packaging တွင် ပစ္စည်းအမျိုးမျိုး၏ substrates၊ interposers၊ lead frames၊ bonding materials စသည်တို့လည်း လိုအပ်ပါသည်။ အီလက်ထရွန်နစ် အထူးဓာတ်ငွေ့များသည် ဆီလီကွန်ဝေဖာများပြီးနောက် semiconductor ထုတ်လုပ်မှုကုန်ကျစရိတ်တွင် ဒုတိယအများဆုံးပစ္စည်းဖြစ်ပြီး mask များနှင့် photoresists များက ဒုတိယအများဆုံးဖြစ်သည်။

ဓာတ်ငွေ့၏ သန့်ရှင်းစင်ကြယ်မှုသည် အစိတ်အပိုင်းစွမ်းဆောင်ရည်နှင့် ထုတ်ကုန်ထွက်ရှိမှုအပေါ် အဆုံးအဖြတ်ပေးသော သြဇာလွှမ်းမိုးမှုရှိပြီး ဓာတ်ငွေ့ထောက်ပံ့မှု၏ ဘေးကင်းလုံခြုံမှုသည် ဝန်ထမ်းများ၏ ကျန်းမာရေးနှင့် စက်ရုံလည်ပတ်မှု၏ ဘေးကင်းလုံခြုံမှုနှင့် ဆက်စပ်နေသည်။ ဓာတ်ငွေ့၏ သန့်ရှင်းစင်ကြယ်မှုသည် လုပ်ငန်းစဉ်လိုင်းနှင့် ဝန်ထမ်းများအပေါ် အဘယ်ကြောင့် ဤမျှကြီးမားသော သက်ရောက်မှုရှိသနည်း။ ၎င်းသည် ချဲ့ကားပြောဆိုခြင်းမဟုတ်ဘဲ ဓာတ်ငွေ့ကိုယ်တိုင်၏ အန္တရာယ်ရှိသော ဝိသေသလက္ခဏာများဖြင့် ဆုံးဖြတ်သည်။

တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းလုပ်ငန်းတွင် အဖြစ်များသောဓာတ်ငွေ့များကို အမျိုးအစားခွဲခြားခြင်း

သာမန်ဓာတ်ငွေ့

သာမန်ဓာတ်ငွေ့ကို အစုလိုက်ဓာတ်ငွေ့ဟုလည်းခေါ်သည်- ၎င်းသည် 5N ထက်နိမ့်သော သန့်ရှင်းမှုလိုအပ်ချက်နှင့် ထုတ်လုပ်မှုနှင့် ရောင်းချမှုပမာဏကြီးမားသော စက်မှုလုပ်ငန်းသုံးဓာတ်ငွေ့ကို ရည်ညွှန်းသည်။ ၎င်းကို ပြင်ဆင်မှုနည်းလမ်းများအလိုက် လေခွဲထုတ်ဓာတ်ငွေ့နှင့် ဓာတုဓာတ်ငွေ့အဖြစ် ခွဲခြားနိုင်သည်။ ဟိုက်ဒရိုဂျင် (H2)၊ နိုက်ထရိုဂျင် (N2)၊ အောက်ဆီဂျင် (O2)၊ အာဂွန် (A2) စသည်တို့။

အထူးဓာတ်ငွေ့

အထူးဓာတ်ငွေ့ဆိုသည်မှာ သတ်မှတ်ထားသော နယ်ပယ်များတွင် အသုံးပြုပြီး သန့်စင်မှု၊ မျိုးကွဲနှင့် ဂုဏ်သတ္တိများအတွက် အထူးလိုအပ်ချက်များရှိသည့် စက်မှုလုပ်ငန်းသုံးဓာတ်ငွေ့ကို ရည်ညွှန်းသည်။ အဓိကအားဖြင့်SiH4၊ PH3၊ B2H6၊ A8H3၊HCLCF4၊NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR၊SF6… နောက် ... ပြီးတော့။

ပြင်းထန်သောဓာတ်ငွေ့အမျိုးအစားများ

အထူးဓာတ်ငွေ့အမျိုးအစားများ- ချေးတက်နိုင်သော၊ အဆိပ်သင့်နိုင်သော၊ မီးလောင်လွယ်သော၊ လောင်ကျွမ်းမှုကို အားပေးသော၊ အစွမ်းမဲ့သော၊ စသည်တို့။
အသုံးများသော တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းများ၏ ဓာတ်ငွေ့များကို အောက်ပါအတိုင်း အမျိုးအစားခွဲခြားထားသည်။
(i) ချေးခြင်း/အဆိပ်သင့်ခြင်း-ဟိုက်ဒရိုဂျင်၊BF3၊ WF6၊ HBr၊ SiH2Cl2၊ NH3၊ PH3၊ Cl2၊BCl3…
(ii) မီးလောင်လွယ်သောပစ္စည်းများ- H2CH4၊SiH4PH3၊ AsH3၊ SiH2Cl2၊ B2H6၊ CH2F2၊ CH3F၊ CO...
(iii) လောင်ကျွမ်းနိုင်သောပစ္စည်းများ- O2、Cl2、N2O、NF3…
(iv) အစွမ်းမဲ့: N2CF4, C2F6 ,C4F8၊SF6, CO2 ,Ne၊Kr၊ သူ…

တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းချစ်ပ်ထုတ်လုပ်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်တွင်၊ အထူးဓာတ်ငွေ့အမျိုးအစား ၅၀ ခန့် (အထူးဓာတ်ငွေ့များဟုရည်ညွှန်းသည်) ကို အောက်ဆီဒေးရှင်း၊ ပျံ့နှံ့မှု၊ အနည်ထိုင်ခြင်း၊ ထွင်းထုခြင်း၊ ထိုးသွင်းခြင်း၊ ဖိုတိုလစ်သိုဂရပ်ဖီနှင့် အခြားလုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အသုံးပြုပြီး စုစုပေါင်းလုပ်ငန်းစဉ်အဆင့်များသည် ရာပေါင်းများစွာထက် ကျော်လွန်ပါသည်။ ဥပမာအားဖြင့်၊ PH3 နှင့် AsH3 ကို အိုင်းယွန်းထည့်သွင်းခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်တွင် ဖော့စဖရပ်စ်နှင့် အာဆင်းနစ်အရင်းအမြစ်များအဖြစ် အသုံးပြုပြီး၊ F-အခြေခံဓာတ်ငွေ့ CF4၊ CHF3၊ SF6 နှင့် ဟေလိုဂျင်ဓာတ်ငွေ့ CI2၊ BCI3၊ HBr များကို ထွင်းထုလုပ်ငန်းစဉ်တွင် အသုံးများပြီး၊ အနည်ထိုင်ဖလင်လုပ်ငန်းစဉ်တွင် SiH4၊ NH3၊ N2O၊ ဖိုတိုလစ်သိုဂရပ်ဖီလုပ်ငန်းစဉ်တွင် F2/Kr/Ne၊ Kr/Ne တို့ကို အသုံးပြုပါသည်။

အထက်ပါရှုထောင့်များမှ၊ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းဓာတ်ငွေ့များစွာသည် လူ့ခန္ဓာကိုယ်အတွက် အန္တရာယ်ရှိကြောင်း ကျွန်ုပ်တို့ နားလည်နိုင်ပါသည်။ အထူးသဖြင့် SiH4 ကဲ့သို့သော ဓာတ်ငွေ့အချို့သည် ကိုယ်တိုင်မီးလောင်ကျွမ်းနိုင်သည်။ ၎င်းတို့ယိုစိမ့်နေသမျှကာလပတ်လုံး လေထဲတွင် အောက်ဆီဂျင်နှင့် ပြင်းထန်စွာ ဓာတ်ပြုပြီး လောင်ကျွမ်းလာမည်ဖြစ်သည်။ AsH3 သည် အလွန်အဆိပ်သင့်သည်။ အနည်းငယ်ယိုစိမ့်မှုသည် လူများ၏အသက်ကို ထိခိုက်စေနိုင်သောကြောင့် အထူးဓာတ်ငွေ့များအသုံးပြုရန် ထိန်းချုပ်မှုစနစ်ဒီဇိုင်း၏ ဘေးကင်းရေးအတွက် လိုအပ်ချက်များသည် အထူးမြင့်မားပါသည်။

တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းများသည် မြင့်မားသောသန့်စင်မှုရှိသောဓာတ်ငွေ့များကို “သုံးဒီဂရီ” ရှိရန် လိုအပ်သည်

ဓာတ်ငွေ့သန့်စင်မှု

ဓာတ်ငွေ့အတွင်းရှိ မသန့်ရှင်းသောလေထုပါဝင်မှုကို ဓာတ်ငွေ့သန့်စင်မှုရာခိုင်နှုန်းအဖြစ် 99.9999% ကဲ့သို့သော ဖော်ပြလေ့ရှိသည်။ ယေဘုယျအားဖြင့် အီလက်ထရွန်းနစ်အထူးဓာတ်ငွေ့များအတွက် သန့်စင်မှုလိုအပ်ချက်မှာ 5N-6N အထိရောက်ရှိပြီး မသန့်ရှင်းသောလေထုပါဝင်မှု ppm (တစ်သန်းလျှင်အပိုင်း)၊ ppb (ဘီလီယံလျှင်အပိုင်း) နှင့် ppt (ထရီလီယံလျှင်အပိုင်း) တို့၏ ထုထည်အချိုးဖြင့်လည်း ဖော်ပြထားသည်။ အီလက်ထရွန်းနစ်တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းနယ်ပယ်သည် အထူးဓာတ်ငွေ့များ၏ သန့်ရှင်းစင်ကြယ်မှုနှင့် အရည်အသွေးတည်ငြိမ်မှုအတွက် အမြင့်ဆုံးလိုအပ်ချက်များရှိပြီး အီလက်ထရွန်းနစ်အထူးဓာတ်ငွေ့များ၏ သန့်ရှင်းစင်ကြယ်မှုသည် ယေဘုယျအားဖြင့် 6N ထက် ပိုများသည်။

ခြောက်သွေ့ခြင်း

ဓာတ်ငွေ့တွင် ရေအနည်းငယ်ပါဝင်မှု သို့မဟုတ် စိုစွတ်မှုကို လေထုနှင်းမှတ် -70℃ ကဲ့သို့သော နှင်းအမှတ်ဖြင့် ဖော်ပြလေ့ရှိသည်။

သန့်ရှင်းမှု

ဓာတ်ငွေ့တွင်ပါဝင်သော ညစ်ညမ်းစေသော အမှုန်အရေအတွက်၊ အမှုန်အရွယ်အစားရှိသော အမှုန်များကို အမှုန်/M3 မည်မျှရှိသည်ဖြင့် ဖော်ပြထားသည်။ ဖိသိပ်ထားသောလေအတွက်၊ ၎င်းကို များသောအားဖြင့် ဆီပါဝင်မှုအပါအဝင် မလွှဲမရှောင်သာသော အစိုင်အခဲအကြွင်းအကျန်များ၏ mg/m3 ဖြင့် ဖော်ပြထားသည်။