Tungsten hexafluoride (WF6) သည် CVD လုပ်ငန်းစဉ်ဖြင့် wafer ၏ မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် မြှုပ်နှံထားပြီး သတ္တု အပြန်အလှန် ချိတ်ဆက်မှု ကတုတ်ကျင်းများကို ဖြည့်သွင်းကာ အလွှာများကြား သတ္တု အပြန်အလှန် ဆက်သွယ်မှုကို ဖြစ်ပေါ်စေသည်။
ပလာစမာအကြောင်း အရင်ပြောရအောင်။ ပလာစမာသည် အဓိကအားဖြင့် လွတ်လပ်သော အီလက်ထရွန်များနှင့် အားသွင်းထားသော အိုင်းယွန်းများဖြင့် ဖွဲ့စည်းထားသော အရာဝတ္ထုတစ်ခုဖြစ်သည်။ ၎င်းကို စကြာဝဠာတွင် ကျယ်ကျယ်ပြန့်ပြန့်တည်ရှိပြီး စတုတ္ထမြောက် အရာဝတ္ထုအဖြစ် သတ်မှတ်လေ့ရှိသည်။ ၎င်းကို ပလာစမာပြည်နယ် ဟုခေါ်ပြီး ပလာစမာဟုလည်း ခေါ်သည်။ ပလာစမာသည် မြင့်မားသောလျှပ်စစ်စီးကူးမှုရှိပြီး လျှပ်စစ်သံလိုက်စက်ကွင်းနှင့် ခိုင်ခံ့သောအချိတ်အဆက်ရှိသောအကျိုးသက်ရောက်မှုရှိသည်။ ၎င်းသည် အီလက်ထရွန်၊ အိုင်းယွန်းများ၊ ဖရီးရယ်ဒီကယ်များ၊ ကြားနေအမှုန်များနှင့် ဖိုတွန်များဖြင့် ဖွဲ့စည်းထားသည့် တစ်စိတ်တစ်ပိုင်း အိုင်းယွန်းဓာတ်ငွေ့ဖြစ်သည်။ ပလာစမာကိုယ်တိုင်က ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာနှင့် ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာ တက်ကြွသောအမှုန်များ ပါဝင်သော လျှပ်စစ်ဆိုင်ရာ ဘက်မလိုက်အရောအနှောတစ်ခုဖြစ်သည်။
ရိုးရှင်းသောရှင်းလင်းချက်မှာ မြင့်မားသောစွမ်းအင်၏လုပ်ဆောင်ချက်အောက်တွင်၊ မော်လီကျူးသည် van der Waals စွမ်းအား၊ ဓာတုနှောင်ကြိုးနှင့် Coulomb စွမ်းအားတို့ကို ကျော်လွှားပြီး ကြားနေလျှပ်စစ်ပုံစံတစ်ခုလုံးကို တင်ပြနိုင်မည်ဖြစ်သည်။ တစ်ချိန်တည်းမှာပင် ပြင်ပမှ ထုတ်ပေးသော မြင့်မားသော စွမ်းအင်သည် အထက်ဖော်ပြပါ စွမ်းအားသုံးရပ်ကို ကျော်လွှားနိုင်သည် ။ လုပ်ဆောင်ချက်၊ အီလက်ထရွန်နှင့် အိုင်းယွန်းများသည် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း etching လုပ်ငန်းစဉ်၊ CVD လုပ်ငန်းစဉ်၊ PVD နှင့် IMP လုပ်ငန်းစဉ်များကဲ့သို့သော သံလိုက်စက်ကွင်းတစ်ခု၏ မော်ဂျူလာမှုအောက်တွင် အတုအယောင်အသုံးပြုနိုင်သည့် လွတ်လပ်သောအခြေအနေတစ်ရပ်ကို တင်ပြသည်။
မြင့်မားသောစွမ်းအင်ဆိုတာဘာလဲ။ သီအိုရီအရ၊ မြင့်မားသောအပူချိန်နှင့် ကြိမ်နှုန်းမြင့် RF နှစ်မျိုးလုံးကို အသုံးပြုနိုင်သည်။ ယေဘုယျအားဖြင့် ပြောရလျှင် မြင့်မားသော အပူချိန်ကို ရရှိရန် မဖြစ်နိုင်သလောက်ပင်။ ဤအပူချိန်လိုအပ်ချက်သည် အလွန်မြင့်မားပြီး နေ၏အပူချိန်နှင့် နီးကပ်နေနိုင်သည်။ လုပ်ငန်းစဉ်တွင် အောင်မြင်ရန် အခြေခံအားဖြင့် မဖြစ်နိုင်ပေ။ ထို့ကြောင့် စက်မှုလုပ်ငန်းသည် ၎င်းကိုအောင်မြင်ရန် ကြိမ်နှုန်းမြင့် RF ကိုအသုံးပြုလေ့ရှိသည်။ Plasma RF သည် 13MHz+ အထိ မြင့်နိုင်သည်။
Tungsten hexafluoride သည် လျှပ်စစ်စက်ကွင်းတစ်ခု၏ လုပ်ဆောင်ချက်အောက်တွင် ပလာစမာဖြင့်ပြုလုပ်ပြီး သံလိုက်စက်ကွင်းဖြင့် အခိုးအငွေ့များ စုပုံလာသည်။ W အက်တမ်များသည် ဆောင်းငန်းအမွေးများနှင့် ဆင်တူပြီး ဆွဲငင်အားအရ မြေပြင်ပေါ်သို့ ပြုတ်ကျသည်။ ဖြည်းညှင်းစွာ W အက်တမ်များသည် တွင်းများအတွင်းသို့ စိမ့်ဝင်သွားကာ နောက်ဆုံးတွင် သတ္တု အပြန်အလှန်ချိတ်ဆက်မှုအဖြစ် အပေါက်များမှတဆင့် အပြည့်ဖြည့်ပါသည်။ အပေါက်များအတွင်း W အက်တမ်များ အပ်နှံခြင်းအပြင်၊ ၎င်းတို့ကို Wafer ၏ မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင်လည်း အပ်နှံမည်လား။ ဟုတ်တယ်၊ ကျိန်းသေတယ်။ ယေဘူယျအားဖြင့်၊ သင်သည် ဖယ်ရှားရန်အတွက် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာကြိတ်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်ဟုခေါ်သည့် W-CMP လုပ်ငန်းစဉ်ကို အသုံးပြုနိုင်သည်။ နှင်းထူထပ်ပြီးနောက် ကြမ်းပြင်ကို တံမြက်စည်းသုံးပြီး သုတ်ရတာနဲ့ ဆင်တူပါတယ်။ မြေပြင်ပေါ်ရှိ ဆီးနှင်းများ လွင့်စင်သွားသော်လည်း မြေပြင်ပေါ်ရှိ အပေါက်များတွင် နှင်းများ ကျန်ရှိနေမည်ဖြစ်သည်။ အကြမ်းဖျင်းအားဖြင့် အတူတူပါပဲ။
တင်ချိန်- ဒီဇင်ဘာ ၂၄-၂၀၂၁
