အီလက်ထရွန်းနစ်အထူးဓာတ်ငွေ့များအထူးဓာတ်ငွေ့များ၏ အရေးကြီးသော အကိုင်းအခက်တစ်ခုဖြစ်သည်။ ၎င်းတို့သည် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်မှု၏ ချိတ်ဆက်မှုတိုင်းနီးပါးကို ထိုးဖောက်ဝင်ရောက်ပြီး အလွန်ကြီးမားသော ပေါင်းစပ်ဆားကစ်များ၊ ပြားချပ်ချပ်ပြကွက်များနှင့် ဆိုလာဆဲလ်များကဲ့သို့သော အီလက်ထရွန်နစ်စက်မှုလုပ်ငန်းအတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သော ကုန်ကြမ်းများဖြစ်သည်။

ဆီမီးကွန်ဒတ်တာနည်းပညာတွင် ဖလိုရင်းပါရှိသောဓာတ်ငွေ့များကို တွင်ကျယ်စွာအသုံးပြုကြသည်။ လက်ရှိတွင် ကမ္ဘာ့အီလက်ထရွန်နစ်ဓာတ်ငွေ့ဈေးကွက်တွင် ဖလိုရင်းပါရှိသော အီလက်ထရွန်နစ်ဓာတ်ငွေ့များသည် စုစုပေါင်း၏ 30% ခန့်ရှိသည်။ ဖလိုရင်းပါ၀င်သော အီလက်ထရွန်နစ်ဓာတ်ငွေ့များသည် အီလက်ထရွန်နစ်သတင်းအချက်အလက်ဆိုင်ရာ ပစ္စည်းများနယ်ပယ်တွင် အထူးအီလက်ထရွန်နစ်ဓာတ်ငွေ့များ၏ အရေးကြီးသော အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ ၎င်းတို့ကို သန့်စင်ဆေးရည်များနှင့် ထွင်းထုသည့်အရာများအဖြစ် အဓိကအားဖြင့် အသုံးပြုကြပြီး အညစ်အကြေးများ၊ ဖလင်ပုံသဏ္ဍာန်ပစ္စည်းများ စသည်တို့အဖြစ်လည်း အသုံးပြုနိုင်ပါသည်။ ဤဆောင်းပါးတွင် စာရေးသူသည် ဘုံဖလိုရင်းပါ၀င်သောဓာတ်ငွေ့များကို နားလည်သဘောပေါက်စေမည်ဖြစ်ပါသည်။

အောက်ဖော်ပြပါများသည် ဖလိုရင်းပါဝင်သော ဓာတ်ငွေ့များကို အသုံးများသည်။

နိုက်ထရိုဂျင်ထရီဖလိုရိုက် (NF3) : အနည်အနှစ်များကို သန့်စင်ခြင်းနှင့် ဖယ်ရှားခြင်းအတွက် အသုံးပြုသည့် ဓာတ်ငွေ့ဖြစ်ပြီး တုံ့ပြန်မှုအခန်းများနှင့် စက်ပစ္စည်းမျက်နှာပြင်များကို သန့်ရှင်းရေးအတွက် အသုံးပြုလေ့ရှိသည်။

ဆာလဖာ ဟက်ဆာဖလိုရိုက် (SF6): အောက်ဆိုဒ် စုဆောင်းခြင်း လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အသုံးပြုသည့် ဖလိုရီနယ်အေးဂျင့် နှင့် insulating media များကို ဖြည့်ရန်အတွက် insulating gas အဖြစ် အသုံးပြုသည်။

ဟိုက်ဒရိုဂျင်ဖလိုရိုက် (HF) - ဆီလီကွန်မျက်နှာပြင်မှ အောက်ဆိုဒ်များကို ဖယ်ရှားရန်နှင့် ဆီလီကွန်နှင့် အခြားပစ္စည်းများကို ထွင်းထုခြင်းအတွက် etchant အဖြစ် အသုံးပြုသည်။

နိုက်ထရိုဂျင်ဖလိုရိုက် (NF)- ဆီလီကွန်နိုက်ထရိတ် (SiN) နှင့် အလူမီနီယမ်နိုက်ထရိတ် (AlN) ကဲ့သို့သော ပစ္စည်းများကို ထွင်းထုရန်အတွက် အသုံးပြုသည်။

Trifluoromethane (CHF3) နှင့်တက်ထရာဖလိုရိုမီသိန်း (CF4): ဆီလီကွန်ဖလိုရိုက်နှင့် အလူမီနီယမ် ဖလိုရိုက်ကဲ့သို့သော ဖလိုရိုက်ပစ္စည်းများကို ထွင်းထုရန် အသုံးပြုသည်။

သို့သော်လည်း ဖလိုရင်းပါရှိသော ဓာတ်ငွေ့များတွင် အဆိပ်သင့်ခြင်း၊ ပိုးဝင်ခြင်းနှင့် မီးလောင်လွယ်ခြင်း အပါအဝင် အချို့သော အန္တရာယ်များရှိသည်။

အဆိပ်သင့်ခြင်း။

အချို့သော ဖလိုရင်းပါ၀င်သောဓာတ်ငွေ့များသည် ဟိုက်ဒရိုဂျင်ဖလိုရိုက် (HF) ကဲ့သို့သော အဆိပ်အတောက်ဖြစ်စေသော အခိုးအငွေ့များသည် အရေပြားနှင့် အသက်ရှူလမ်းကြောင်းကို ထိခိုက်စေပြီး လူ့ကျန်းမာရေးကို ထိခိုက်စေပါသည်။

သံချေးတက်ခြင်း။

ဟိုက်ဒရိုဂျင်ဖလိုရိုက်နှင့် အချို့သော ဖလိုရိုက်များသည် အဆိပ်ပြင်းပြီး အရေပြား၊ မျက်လုံးနှင့် အသက်ရှူလမ်းကြောင်းတို့ကို ဆိုးရွားစွာ ပျက်စီးစေနိုင်သည်။

မီးလောင်လွယ်ခြင်း။

အချို့သော ဖလိုရိုက်များသည် မီးလောင်လွယ်ပြီး မီး သို့မဟုတ် ပေါက်ကွဲစေသည့် ပြင်းထန်သော အပူနှင့် အဆိပ်ဓာတ်ငွေ့များကို ထုတ်လွှတ်ရန်အတွက် လေထဲတွင် အောက်ဆီဂျင် သို့မဟုတ် ရေနှင့် ဓာတ်ပြုပါသည်။

မြင့်မားသောဖိအားအန္တရာယ်

အချို့သော ဖလိုရင်းဝင်ဓာတ်ငွေ့များသည် မြင့်မားသောဖိအားအောက်တွင် ပေါက်ကွဲထွက်တတ်ပြီး အသုံးပြုပြီး သိမ်းဆည်းသည့်အခါ အထူးဂရုစိုက်ရန် လိုအပ်သည်။

သဘာဝပတ်ဝန်းကျင်ကို ထိခိုက်တယ်။

ဖလိုရင်းပါဝင်သော ဓာတ်ငွေ့များသည် လေထု၏ သက်တမ်းနှင့် GWP တန်ဖိုးများ မြင့်မားပြီး ယင်းသည် လေထု၏ အိုဇုန်းလွှာကို ပျက်စီးစေကာ ကမ္ဘာကြီး ပူနွေးလာမှုနှင့် ပတ်ဝန်းကျင် ညစ်ညမ်းမှုကို ဖြစ်စေနိုင်သည်။

အီလက်ထရွန်နစ်ပစ္စည်းများကဲ့သို့သော ထွန်းသစ်စနယ်ပယ်များတွင် ဓာတ်ငွေ့အသုံးပြုမှုသည် ပိုမိုနက်ရှိုင်းလာကာ စက်မှုဓာတ်ငွေ့အတွက် လိုအပ်ချက်အသစ်များစွာကို သယ်ဆောင်လာသည်။ လာမည့်နှစ်အနည်းငယ်အတွင်း တရုတ်ပြည်မကြီးရှိ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာများနှင့် ဖန်သားပြင်ပြားများကဲ့သို့သော အီလက်ထရွန်နစ်ပစ္စည်းများ၏ ထုတ်လုပ်မှုစွမ်းရည် ပမာဏအများအပြားနှင့် အီလက်ထရွန်နစ်ဓာတုပစ္စည်းများ အစားထိုးတင်သွင်းရန် ပြင်းထန်သော ဝယ်လိုအားအပေါ်အခြေခံ၍ ပြည်တွင်းအီလက်ထရွန်နစ်ဓာတ်ငွေ့လုပ်ငန်းကို ဦးဆောင်ဦးရွက်ပြုမည်ဖြစ်သည်။ မြင့်မားသောတိုးတက်မှုနှုန်း။